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SuperViewW系列三维光学表面轮廓仪采用经国家计量检测研究院校准的台阶高标准片作为测量标准件，采用该标准片对仪器的检测精度和重复性进行验收，其中台阶高标准片高度在4.7um左右，测量精度要求为<0.75%，重复精度要求<0.1%（1σ）（测量15次获取的数据标准差），主要用于对样品表面的2D、3D形貌进行测量，主要测量参数为粗糙度、台阶高、几何轮廓等。
技术参数
产品型号：SuperView W1系列
产品名称：光学3D表面轮廓仪
影像系统：1024×1024
光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）
干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）
XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈
Z轴行程：100mm，电动
Z向扫描范围：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平调整：±5°手动
粗糙度RMS重复性：0.005nm
台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08%1σ
更多访问：
https://www.chem17.com/st462222/product_36924495.html
http://www.jccetou.com/Products-36924495.html
原文链接：http://syj1123.zgsh.org.cn/news/itemid-626.shtml，转载和复制请保留此链接。
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